Spin Coater SCI系列
型号 | SCI 10 | SCI 20 | SCI 30 | SCI 40 |
转速(转/分) | 600 - 4500 | 1200 - 9000 | 1800 - 13500 | 2400 -18000 |
- 转速可达18000转/分 - 薄膜厚度:10nm - 10μm - 衬底尺寸:φ10 - 70mm - 无需真空泵 | ![]() |
Spin Coater SCV系列 - 转速:6000转/分,9000转/分 - 薄膜厚度:10nm - 10μm - 衬底尺寸:φ30、φ50、φ70mm、φ90mm - 带真空泵 | ![]() |
Spin Coater SCE系列 - SCV功能 - 衬底尺寸:φ30、φ50、φ70mm、φ90mm - 可设置加速、减速及速度保持时间。 | ![]() |
Spin Coater(新品)SCC系列 - SCE 功能 - 一个工艺中可设定两种速度梯度 - 4行文字显示(每行20个字符) - 能保存10种工作模式 - SCC200: 12000转/分 | ![]() |