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纳米马达

概述:利用脉冲电压驱动的方式,使得圆柱形压电晶体管在滑动轴上准确移动,实现精密定位的。运动速度可达1mm/s.压电晶体内部是中空的,可以安装针尖、微管、电极、皮下注射针头、玻璃纤维甚至微型夹具。
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  • 微纳技术的基础是实现微纳米的准确定位。众所周知,利用压电晶体可以获得原子量级的定位精度,且广泛用于SPM等系统中。但是,虽然压电晶体可以得到如此高的分辨率,但他的行程却只能到微米量级,只能在很小的范围内实现精密定位。Klocke博士和他的团队用他们巧妙的设计,利用"纳米马达"在厘米量级的行程内实现纳米级定位,跨越八个数量级!


    纳米马达


    他们利用脉冲电压驱动的方式,使得圆柱形压电晶体管在滑动轴上准确移动,实现精密定位的。运动速度可达1mm/s.压电晶体内部是中空的,可以安装针尖、微管、电极、皮下注射针头、玻璃纤维甚至微型夹具。各种微型部件均有不同的用途,用户可根据自己的实际需要进行选择。


    主要参数:


    • 原子量级分辨率
    • 行程5-19mm
    • 牵引力:可提起重量大于25g的物体
    • 运动速度大于2mm/s
    • 尺寸非常小
    • 适应多种环境,包括超高真空环境,极低温环境及液态环境等


    Klocke 纳米马达 

    纳米马达





  • 纳米定位线性工作台

    敞形框架结构平台

    光刻工件台

    纳米定位-线性工作台

    精密定位技术在现代科学研究中发挥着重要作用。Klocke Nanotechnik公司早上世纪几十年代便开始了该领域的研究。在公司上百种纳米定位与操纵装置中,NMT纳米定位平台有着非常好的性能。平台采用模块化设计,可以任意组装可实现XY二维运动及XYZ三维运动。具有厘米级行程及纳米级运动分辨率。其出色的纳米级定位功能,为通向微观领域搭起了桥梁。


    该平台广泛应用于微系统、通信、半导体技术、生物技术以及航空航天技术等领域均有广泛的应用。并可与扫描电子显微镜出色结合,实现微纳米尺度的操纵。


    NMT纳米定位平台


    • 2nm分辨率
    • 重复定位精度好于10nm
    • 行程5~70毫米
    • 最大载重量2000克
    • 尺寸非常小
    • 模块化设计,组装灵活
    • 可用于真空环境
    Klocke 纳米定位平台1
    Klocke 纳米定位平台2


    水平方向定位:


    典型型号

    行程

    [mm]

    最大载重

    [kg]

    长度

    [mm]

    宽度

    [mm]

    高度

    [mm]

    NDN-辊道

    NMT 10-L

    10

    0.2

    50

    17

    13

    NDN 05-20.10

    NMT 20-L

    20

    0.2

    60

    17

    13

    NDN 05-30.20

    NMT 10

    10

    1

    40

    26

    13

    NDN 05-20.10

    NMT 20

    20

    1

    50

    26

    13

    NDN 05-30.20

    NMT 30

    30

    1

    60

    29

    13

    NDN 1-40.30

    NMT 50

    50

    2

    80

    34

    13

    NDN 2-60.50

    NMT 60

    60

    2

    90

    34

    13

    NDN 2-70.60

    NMT 70

    70

    2

    100

    34

    13

    NDN 2-80.70



    垂直方向定位:



    典型型号

    行程

    [mm]

    最大载重

    [kg]

    高度

    [mm]

    基座面积

    NDN-辊道

    NMT Z10

    10

    0.05

    40

    20 x 24

    NDN 05-20.10

    NMT Z20

    20

    0.1

    50

    20 x 24

    NDN 05-30.20



    敞形框架结构平台


    Klocke 纳米定位平台1
    • 分辨率小于1nm
    • 行程5~50毫米
    • 最大载重量50克
    • 尺寸非常小
    • 低驱动电压
    • 可用于真空环境


    典型型号
    • 45mm x 45mm, 5 mm 行程
    • 67mm x 67mm, 10 mm 行程


    纳米工件台-光刻工件台


    若需要曝光百微米以上的较大有效面积,而当前配置是SEM,FIB或双束系统时,可考虑我们的1纳米运动分辨率的光刻工作台。特别是对于德国Raith图形发生器用户,可用Raith公司软件来控制这个工作台,实现曝光的自动拼接。


    Klocke 纳米工件台-光刻工件台

    纳米工件台-光刻工件台

    • 提供纳米分辨率的运动,可与现存 SEM/FIB 和双束系统兼容,获得亚微米的拼接精度
    • 运动行程:20x20mm2, 30x30mm2, 30x50mm
    • 运动分辨率:1nm
    • 网络控制单元(Ethernet 通讯方式) 19" 机箱,4个驱动输出(+/-40V),4个模拟信号输入?,2个位置测量系统输入
    • 电源:5V, 9A
    • 软件:NanoControl 基本版本用于手动控制马达轴运动 PositionTable, 进行位置存储;用于控制纳米马达,移动至所存储的位置 自动拼接软件,集成于Raith 软件中


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电话:010-82867922

传真:010-82867919

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