纳米操纵机械手（纳米机械臂）

纳米操纵机械手 Manipulator—用于SEM和FIB中

在SEM中加装纳米操纵装置实现对微小样品进行移动、加工及材料物性测量功能。

可以增加其他的手段，包括：三维测量，切割，样品和针尖清洁，力－距离曲线测量，探针电学测量，夹取颗料或样品，TEM切片，纳米摩擦测量，定点加热。

纳米操纵机械手（纳米机械臂）：

纳米操纵机械手（纳米机械臂）

纳米马达是机械臂的核心。三个独立运动的线性工件台结合到每一个机械臂中，实现在三个轴向的0.5nm的分辨率。可以应用在大气和电子显微镜中。

• 笛卡儿坐标设计,X,Y,Z 三方向独立运动互不干扰
• 分辨率 1 nm
• 行程 5-20 mm
• 绝对位置定为精度: 100x100 μm2 范围内 20~50nm
• 任意行程范围内绝对定位精度均 < 500nm
• 固定式安装
• 自动控制功能

可集成多种附件,实现以下功能：

• 三维测量

• 切割

• 样品和针尖清洁

• 力－距离曲线测量

• 探针电学测量

• 夹取颗料或样品

• 纳米摩擦测量

• 定点加热