氧化铝衬底(蓝宝石)Aluminiumoxid Substrate - Sapphire
材料性质
结构分子式: | Al2O3 | |
形态: | 单晶 | |
晶体结构: | 六方 | a = 4.77 Å c = 13.04 Å |
密度: | 3.98 g/cm3 | |
熔点: | 2040°C | |
膨胀系数: | 6.7 * 10-6/°C 5.0 * 10-6/°C | 平行C-轴 垂直C-轴 |
介电常数 (e ): | 9.0 11.5 | 平行C-轴 垂直C-轴 |
介电损耗 (10GHz): | 3 * 10-5 8.6 * 10-5 | 平行C-轴 垂直C-轴 |
电阻率: | 1019 W/cm |
衬底性质
生产方法: | Czochralski, HEM, Verneuil 生长 |
取向: | (0001), (1-102), (11-20) |
取向精度: | until ≤ 0.5° |
标准尺寸: | 10mm x 10mm x thickness 1mm or 0.5mm |
长度公差: | ± 0.02mm |
厚度公差: | ± 0.02mm |
平行度: | ≤ 0.3° |
抛光: | 一面或两面 外延抛光 |
平整度: | ≤ 0.3μm / 10mm |
表面粗糙度: | Ra≤10Å |
划伤: | none |
表面质量: | with light microscope without defects |