钍:铝酸镧 Th:Lanthanum Aluminate Substrate
类Verneuill 生长
材料性质
结构分子式: | LaAlO3 | |
形态: | 单晶 | |
晶体结构: | 菱形 立方 | a = 5.377 Å α= 60.13° a = 3.821 Å |
相变: | > 500° C | |
密度: | 6.51 g/cm3 | |
熔点: | 2180°C | |
膨胀系数: | 10 * 10-6/°C | |
介电常数 (e ): | 20-25 |
衬底性质
生产方法: | 类Verneuill 生长 (最小量孪晶) |
取向: | (100) |
取向精度: | ≤ 0.5° |
标准尺寸: | 10mm x 10mm x 厚度 1mm 0.5mm |
长度公差: | ± 0.10mm (典型优于 ± 0.05mm) |
厚度公差: | ± 0.05mm |
平行度: | ≤ 0.02mm |
抛光: | 标准:一面 |
平整度: | λ/2 |
表面粗糙度: | Rmax ≤15nm (平均 Ra = 3nm) |
划伤: | 无 |
表面质量: | 光学显微镜观察无缺陷 |
