氧化镁衬底 Magnesiumoxid Substrate
材料性质
结构分子式: | MgO |
形态: | 单晶 |
晶体结构: | 立方 |
晶格参数: | 4.213 Å |
密度: | 3.58 g/cm3 |
熔点: | 2800°C |
膨胀系数: | 14.2 * 10-6/°C |
介电常数 (e ): | 10 |
衬底性质
取向: | (100) |
取向精度: | ≤0.5° |
标准尺寸: | 10mm x 10mm x thickness 1mm or 0.5mm |
长度公差: | ± 0.10mm (typical better ± 0.05mm) |
厚度公差: | ± 0.05mm |
平行度: | ≤0.02mm |
抛光: | 标准:一面 |
平整度: | λ/4 |
表面粗糙度: | Rmax ≤5nm (平均 Ra = 1nm) |
划伤: | 无 |
表面质量: | 光学显微镜观察无缺陷 |