镓酸钕衬底 Neodymium Gallat Substrate
材料性质
结构分子式: | NdGaO3 | |
形态: | 单晶 | |
晶体结构: | 斜方 Perowskite cell | a = 5.426 Å b = 5.496 Å c = 7.707 Å a,c = 3.863 Å b = 3.854 Å |
相变: | 无 (RT to 1300°C) | |
密度: | 7.57 g/cm3 | |
熔点: | 1600°C | |
膨胀系数: | 11 * 10-6/°C |
衬底性质
生产方法: | Czochralski 生长 |
取向: | (110) |
取向精度: | ≤ 0.5° |
标准尺寸: | 10mm x 10mm x 厚度 1mm or 0.5mm |
长度公差: | ± 0.10mm |
厚度公差: | ± 0.05mm |
平行度: | ≤ 0.02 |
抛光: | 标准:一面 |
平整度: | λ/4 |
表面粗糙度: | Rmax ≤ 3nm (平均 Ra=1nm) |
划伤: | 无 |
表面质量: | 光学显微镜观察无缺陷 |