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钛酸锶衬底

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    结构分子式:

    SrTiO3

    形态:

    单晶

    晶体结构:

    立方

    晶格参数

    3.905 Å

    相变:

    四方<110K

    密度:

    5.12 g/cm3

    熔点:

    2080°C

    膨胀系数:

    11.1 * 10-6/°C

    介电常数 (e ):

    310


    衬底性质


    生产方法:

    Verneuil生长 (无孪晶)

    取向:

    (100)

    取向精度:

    ≤ 0.5°

    标准尺寸:

    10mm x 10mm x 厚度 1mm or 0.5mm

    长度公差:

    ± 0.10mm (典型优于 ± 0.05mm)

    厚度公差:

    ± 0.05mm

    平行度:

    ≤ 0.02mm

    抛光:

    标准:一面

    平整度:

    λ/4

    表面粗糙度:

    Rmax ≤3nm (average Ra=1nm)

    划伤:

    表面质量:

    光学显微镜观察无缺陷


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