材料性质
结构分子式: | SrTiO3 |
形态: | 单晶 |
晶体结构: | 立方 |
晶格参数 | 3.905 Å |
相变: | 四方<110K |
密度: | 5.12 g/cm3 |
熔点: | 2080°C |
膨胀系数: | 11.1 * 10-6/°C |
介电常数 (e ): | 310 |
衬底性质
生产方法: | Verneuil生长 (无孪晶) |
取向: | (100) |
取向精度: | ≤ 0.5° |
标准尺寸: | 10mm x 10mm x 厚度 1mm or 0.5mm |
长度公差: | ± 0.10mm (典型优于 ± 0.05mm) |
厚度公差: | ± 0.05mm |
平行度: | ≤ 0.02mm |
抛光: | 标准:一面 |
平整度: | λ/4 |
表面粗糙度: | Rmax ≤3nm (average Ra=1nm) |
划伤: | 无 |
表面质量: | 光学显微镜观察无缺陷 |