氧化锆衬底

结构分子式:

ZrO₂:Y(9.5% Y)

形态:

单晶 (无孪晶)

晶体结构:

立方

a = 0.5125 nm

熔点:

2780°C

膨胀系数:

8 * 10^-6/°C

介电常数 (e ):

27

生产方法:

Skull method

取向:

(100)

取向精度:

≤ 0.5°

标准尺寸:

10mm x 10mm x 厚度 0.5mm

长度公差:

+0 / -0.05mm

厚度公差:

+0 / -0.02mm

平行度:

≤0.02°

抛光:

标准:一面 外延抛光

平整度:

≤1μm / 10mm

表面粗糙度:

Rmax ≤4nm (平均 Ra =< 1nm)

划伤:

无

表面质量:

光学显微镜观察无缺陷