概述:PLD-Workstation将PLD设备中的部件包括准分子激光器和激光气体集成到一个简单的框架内。紧凑的设计确保设备使用灵活，避免了许多安装工作，具有很强的通用性，没有PLD经验的用户也可以轻易上手。

概述:模块化概念，Laser MBE可以轻松升级到中央传输模块或其他模块； UHV PLD主腔室、利用Load-lock实现衬底和靶材的UHV传输； 先进的工艺自动化功能，可实现超晶格生长